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簡要描述：NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)
產(chǎn)品型號：SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2017-06-23訪 問 量：2957詳細(xì)介紹
Duke PD-802 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
NIST溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品完符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的硅晶片（PSL）表面，用戶以對掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo)，并與其它的掃描儀進(jìn)行對比。 用戶還以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學(xué)：
為了確保與NIST的直接溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確性評估指導(dǎo)方案”）計算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確性為擴(kuò)大性不確因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
微粒組成： | 聚苯乙烯 |
微粒密度： | 1.05g/cm3 |
微粒數(shù)量： | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
包裝規(guī)格： | 50ml瓶裝，每盒6瓶 |
微粒折射率： | 1.59 @ 589 nm （25°C） |
添加劑： | 無 |
產(chǎn)品保質(zhì)期： | ≥2年 |
存儲條件： | 冰箱儲藏（冰點(diǎn)以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染 |
包裝內(nèi)容 | 標(biāo)與溯源證書、粒子計數(shù)擬程序、原料安數(shù)據(jù)表（MSDS） |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 熱電粒子 熱電標(biāo)準(zhǔn)粒子 thermo粒子 thermo標(biāo)準(zhǔn)粒子 賽默粒子 賽默標(biāo)準(zhǔn)粒子飛世爾粒子 飛世爾標(biāo)準(zhǔn)粒子 fisher粒子 fisher標(biāo)準(zhǔn)粒子 （Duke thermo fisher） 美國Duke杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 聚苯乙烯 DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子/ 粒準(zhǔn)乳膠球粒子/ 聚苯乙烯/ 標(biāo)準(zhǔn)微粒/ 微粒子/ Duke粒子 液體顆粒計數(shù)儀用 Duke 杜克3000系列20-900nm 產(chǎn)品描述： Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 3000系列－聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀器介紹 Duke科學(xué) Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 SURF-CAL用于半導(dǎo)體晶片掃描，0.047-3um 美國Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 3000 系列——-納米尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子（15mL包裝,1%固體含量） Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 挑戰(zhàn)性標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-EY-Cal系列（2-70um） 標(biāo)準(zhǔn)顆粒 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) DUKE粒子 標(biāo)準(zhǔn)粒子 杜克粒子 美國杜克 NIST粒子 NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 溯源粒子 溯源物質(zhì) 溯源粒子 進(jìn)口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠色和紅色干粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標(biāo)記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰(zhàn)微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯（PS）微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Power-Bind 鏈霉親和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計數(shù)精度尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 粒子計數(shù)器標(biāo)準(zhǔn) 3K,4K系列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000系列硅微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke 9000系列玻璃微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL標(biāo)準(zhǔn)顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計數(shù)質(zhì)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000系列均勻尺度聚合物標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiáng)度驗證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強(qiáng)度校正微粒 Clintex 標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke DRI-CAL系列干粉標(biāo)準(zhǔn)粒子歐共體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)局（BCR）認(rèn)證石英參考顆粒 Duke 3000系列納米級尺度標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 干粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色 紅色 藍(lán)色熒光微球 Duke 7000系列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 4000系列聚合物微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke EY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列
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